Halbleiter

Das RFID-Projekt in Kürze:

Eindeutige RFID-Kennzeichnung der Produktionskassette
Automatische Übernahme der Produktionsanweisungen, -schritte aus dem übergeordneten Leitsystem
Identifikation direkt an der Produktionsanlage
Durchgehende Überprüfung aller Produktionsschritte
Direktes Laden von Bearbeitungsrezepturen
Überwachung des Lebenszyklus der Produktionskassette

RFID Frequenz 134,2 kHz (LF)

RFID-Projekt Halbleiterindustrie: Steuerung und Überwachung des Produktionsprozesses von Microchips

Microchips sind integrierte Schaltkreise auf einem einzigen Stück Halbleitersubstrat. Sie unterliegen einem diffizilen Fertigungsprozess und jeder Halbleiterhersteller weiß, dass die Produktion der besagten Chips nicht einfach ist. Fehlerfreie Steuerung und eine lückenlose Überwachung aller Produktionsschritte sind das A und O einer verlustfreien Herstellung. Einem der größten Hersteller von Microchips konnten wir mit einem umfassenden Kontrollsystem weiterhelfen.

Herausforderung
Bis zu 25.000 Chips durchlaufen in einer Waferkassette – je nach Auftrag – vielfältige chemische und optische Prozessschritte bis aus den sogenannten Wafern fertige Computerbauteile entstanden sind. Unser Kunde setzt in einem Fertigungswerk über 2.000 dieser Kassetten ein. Es ist ein Leichtes, sich – bei einem Preis von 100 $ pro Chip – vorzustellen, um welche Geldsummen es geht, wenn in der Produktion etwas falsch läuft.

Umsetzung
Steuerung der Produktionsschritte:
Aus dem übergeordneten Leitsystem werden für jede Kassette die notwendigen Produktionsanweisungen und die Reihenfolge der Produktionsschritte abgerufen. Die mit Transponderlesegeräten ausgestatteten Produktionsanlagen identifizieren die Kassette, sobald sie in die Einzugsvorrichtung der Anlage gelangt. Ein optischer Sensor startet den Lesevorgang der in der Datenbank hinterlegten Informationen und garantiert so den reibungslosen Ablauf der komplexen Produktionsschritte.

Werden Änderungen in der Bearbeitungsrezeptur nötig, reicht es aus, diese in die Datenbank einzupflegen. Die Anweisungen werden automatisch übernommen und sicher und präzise ausgeführt.

Überwachung der Produktion:
Jede Kassette ist durch einen Transponder, der eine eindeutige Identifikationsnummer mitbringt, gekennzeichnet. Anhand dieser ID-Nummer werden die Kassetten während der einzelnen Produktionsschritte überprüft und die auf dem Transponder enthaltenen Informationen ständig mit den Spezifikationen der Anlage verglichen. Nur bei Übereinstimmung des Datensatzes läuft die Kassette weiter und die Siliziumscheiben werden nacheinander bearbeitet. Ist der vorgegebene Lebenszyklus einer Kassette überschritten? Diese wichtige Frage können wir mit der RFID-Technik leicht beantworten. Unser Kunde erhält jederzeit Angaben über das Alter der Kassette und die Anzahl der Prozessdurchgänge. Natürlich erkennt er auch, welche Verfahren diese spezielle Kassette durchlaufen hat.

Unser Kontrollsystem sichert so die Produktionsschiene unseres Kunden und hilft viel Zeit, Ärger und nicht zuletzt auch Geld zu sparen.